技術簡介

ITO導電膜其本身具有良好導電性,並且具有極高的可見光透光率及紅外線反射率。ITO薄膜的用途極為廣泛，是製作凡平面顯示器、太陽能電池及光電偵測器等系統透明電極不可或缺的材料。近年來智慧手機日益普及，ITO更用於製作觸控膜組，消費型市場需求極大。除此之外，ITO膜也可以用於製作透明加熱元件、抗靜電膜、電磁波防護膜等材料應用於光電裝置上。由於其光譜的吸收與反射特性，更可以用於製作各種光學及節能膜材。ITO透明導電薄膜可沉積於玻璃或軟性高分子薄膜如PC, PET等基材上。最近，由於光電模組及系統要求輕薄短小，所以應用端多要求將ITO材料製作於PET、COP等可彎折材料上。其有質輕、薄、耐衝擊及可撓曲等優點，因此是未來ITO導電膜的製作趨勢。然而，由於高分子基材性質及剛性不如玻璃，所以在可彎折的高分子基材上製作ITO膜比在玻璃基板上製作ITO者具更高的技術挑戰。ITO 導電膜的膜層剖面架構如圖一 ，圖二為成品捲料。

基本上，ITO膜是軟性材料，需用捲對捲濺鍍(Roll to roll sputtering)  製程製作，捲對捲的濺鍍製程較序列式平面濺鍍(In-line sputtering) 製程困難。除了設備非常昂貴精密以外，鍍膜工藝也非常複雜。目前常使用的濺鍍源有DC(直流)/MF(中頻交流) ，若需其他鍍膜靶源，例如RF(射頻/高頻交流)、PECVD(電漿輔助化學氣相沈積)，則需要在不改變主腔體結構下針對靶源(Coating Source)及控制系統做更新調控。因此，本技術是屬於技術密集的製程，技術團隊必需能掌握多層面的關聯工藝才有能力駕馭。

以迎輝集團長期在各式光學膜捲對捲製作技術的耕耘，加上鍍膜團隊在設備設計、製作、程序控制、製程開發、光學膜層模擬設計應用等各方面長期建立的經驗，以及從腔體、零件的製作到真空部品、電源供應器的採購維修的歷練，皆讓我們有能力來提供最佳化的材料成本與品質以滿足日新月異的客戶需求。

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